VMR-H3030尼康NIKON高精度圖像測(cè)量?jī)xVMR-H3030

Nikon NIKON高精度圖像測(cè)量?jī)xVMR-H3030

NIKON VMR-H3030高精度圖像測(cè)量?jī)x，精確的模型，可實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)的不確定度（300 x300x150mm載物臺(tái)）。 NEXIV VMR-H3030系列該設(shè)備具有高精度和多功能功能。 XYZ行程為300×300×150 mm。它不僅可以用于測(cè)量各種精密模具和精密零件，還可以用作精密檢測(cè)室中的主要檢測(cè)設(shè)備。 。 8方向可編程LED環(huán)形照明系統(tǒng)，自動(dòng)圖像聚焦和具有掃描功能的激光自動(dòng)聚焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置。具有15倍變焦倍率的5段可編程變焦鏡頭組可以在每個(gè)段之間自由切換（放大倍率），以滿足低倍率大視野觀察和搜索以及高倍率精度測(cè)量的需求。 NEXIV VMR-H3030由低熱膨脹材料制成的光柵具有很高的精度影像測(cè)量?jī)x，加上合理的布局和堅(jiān)固的硬件設(shè)計(jì)，其測(cè)量不確定度達(dá)到亞微米水平，可以滿足精密模具的檢驗(yàn)。需求。

NIKON VMR-H3030高精度圖像測(cè)量?jī)x，適合作為精密測(cè)試室的主要測(cè)試設(shè)備；

3個(gè)模型（1、2、3類型）每個(gè)都有5個(gè)放大倍率，可以滿足不同視場(chǎng)和放大倍率的要求；

有多種照明方法可供選擇，以確保準(zhǔn)確檢測(cè)模具邊界；

工作距離長(zhǎng)（50 mm）可以滿足工件高度方向的空間要求；

高達(dá)15倍的變焦倍率可以滿足低倍率，大視野觀察和搜索以及高倍率精度測(cè)量的需求。與無段變焦機(jī)制相比，五段固定放大倍數(shù)自動(dòng)變焦機(jī)制可以使測(cè)量更快，更準(zhǔn)確。

應(yīng)用領(lǐng)域：精密檢測(cè)室的主要檢測(cè)設(shè)備，模具和精密機(jī)械零件的測(cè)量。精密口罩

精密機(jī)械零件

Nikon NIKON高精度圖像測(cè)量?jī)xVMR-H3030

Z120X型（帶高倍放大頭）

具有高精度平臺(tái)，與高倍放大頭配合使用，它可以精確地測(cè)量工件的細(xì)小部分（例如精密掩模和切屑凸塊高度以及其他關(guān)鍵尺寸）。光學(xué)放大倍率可達(dá)120倍，并且可以測(cè)量微距線的寬度；

高速高精度平臺(tái)有助于快速影像測(cè)量?jī)x，準(zhǔn)確地測(cè)量較大物體的大小；

刻線的上下寬度可以分別測(cè)量；

激光自動(dòng)掃描功能可用于測(cè)量芯片上微小凸起的高度和焊球的橫截面形狀；

可以評(píng)估通過激光掃描獲得的截面輪廓形狀。

應(yīng)用領(lǐng)域：各種芯片級(jí)封裝，芯片上凸塊的高度，各種精密掩模等。精確掩模，倒裝芯片上的凸塊，芯片凸塊的形貌和顏色代碼顯示

適用行業(yè)：研究實(shí)驗(yàn)室，高精度模具，光掩模MEMS，晶圓凸塊等。

隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，產(chǎn)品規(guī)格變得越來越精細(xì)，因此測(cè)量工具必須能夠與產(chǎn)品相匹配以提高精度。通用測(cè)量?jī)x器已無法滿足行業(yè)的測(cè)量需求。 VMR-H3030為您提供高精度和多種功能的測(cè)量質(zhì)量。

NIKON采用雙Y軸光學(xué)尺，可以校正工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)可能引起的扭轉(zhuǎn)變形，并改善光學(xué)尺的尺寸。

為了防止振動(dòng)影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性，VMR-H3030改進(jìn)了機(jī)體的結(jié)構(gòu)并增加了其運(yùn)動(dòng)阻力，以減少振動(dòng)對(duì)測(cè)量的影響。

高精度載物臺(tái)的設(shè)計(jì)將糾正由于XY方向的移動(dòng)可能產(chǎn)生的額外應(yīng)力而導(dǎo)致測(cè)量數(shù)據(jù)出錯(cuò)的六個(gè)主要因素，這會(huì)導(dǎo)致載物臺(tái)無法在XY方向上滑動(dòng)。原始光學(xué)尺的軌跡。注意事項(xiàng)。

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)

VMR H3030

VMR H3030-Z120X

行程（XxYxZ）毫米

300 x 300 x 150

讀取值

0.01μm

承重

30kg

測(cè)量精度

U 1X U 1Y

0.6+ 2L /1000μm

U 2XY

0.9+ 3L /1000μm

Z軸

0.9+ L /150μm

相機(jī)

黑白CCD（逐行）；彩色CCD

工作距離

50毫米

大功率

9.8毫米

低電量

32毫米

放大倍率─視野

類型1

0.5X-9.33 x 7毫米7.5X-0.622 x 0.467毫米

1X-4.67 x3.5毫米

120X-0.039 x 0.029毫米

類型2

1X-4.67 x3.5毫米15X-0.311 x 0.233毫米

類型3

2X-2.33 x1.75毫米30X-0.155 x 0.177毫米

自動(dòng)對(duì)焦方法

TTL激光聚焦和圖像聚焦

光源類型

底燈，面燈LED環(huán)形燈

（內(nèi)圈/外圈）

底燈（高倍光學(xué)頭）

表面光，暗視力

電源

AC100?240V±10％，50 / 60Hz

功耗

最大7A

尺寸和重量（寬x深x高）毫米

僅主體

915 x 1060 x 1300約450kg

主體和防震臺(tái)

1000 x 1100 x 1900約570kg

控制箱

250 x 550 x 500約31kg

尺寸（寬x深）毫米

2400 x 1400